羅茨真空泵的優(yōu)點是在較低的入口壓力時具有較高的抽氣速率，但它不能單獨使用，必須有一臺前級真空泵串聯(lián)，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時，羅茨真空泵才能開始工作，并且在一般情況下，羅茨真空泵不允許高壓差工作，否則將會過載和過熱而損壞，因此使用羅茨真空泵必須合理地選用前級真空泵，安裝必要的保護(hù)設(shè)備。
     前級真空泵一般可選擇油封機械泵或液環(huán)真空泵，特別在抽除有大量水蒸汽的氣體時，選用水環(huán)真空泵作為前級泵是很理想的。